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電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]

設備ID AT-004
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 S4800
キーワード FE-SEM
電界放出型電子銃
微細構造
3次元形状
EDX
組成分析
仕様・特徴 ・型式:S-4800
・試料サイズ:15~150 mmφ
・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
・試料ステージ制御:5軸モーター制御
・可動範囲:X,Y:0~110 mm、Z:1.5~40 mm、R:360°、T:-5~70°
・検出器:2次電子検出器、エネルギー分散型X線検出器(EDX)
    電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
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