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リフトオフ装置 [KLO-150CBU]

    リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
    リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
機器ID NM-613
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 リフトオフ装置 [KLO-150CBU] (Auto Lift-Off [KLO-150CBU])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 カナメックス (KANAMEX)
型番 KLO-150CBU
キーワード リフトオフ、高圧ジェット、NMP、レジスト剥離、洗浄
仕様・特徴 ・用途:リフトオフ、レジスト剥離
・レジスト膨潤:80℃ NMP溶液
・レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶液
・リンス:IPA, 純水
・乾燥:スピン乾燥、N2ブロー
・最大試料サイズ:φ6inch
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