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IRエミッション顕微鏡

設備ID BA-017
分類 デバイス特性 > その他
装置名称 IRエミッション顕微鏡 (IR Emission Microscope)
設置機関 筑波大学
設置場所 総合研究棟B
メーカー名 浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 (Hamamatsu Photonics K.K. / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
型番 THEMOS-1000
キーワード 故障解析
発熱分布
仕様・特徴 半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡。赤外線画像の観測により、発熱分布(温度分布)の検出や、電流リーク箇所の同定が可能。発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測可能。パワーデバイス特性評価装置B1505Aと組み合わせることでプローバーとして利用可能。
検出波長:3.7μm~5.1μm
最大視野:3cm × 2cm
最小視野:0.7mm × 0.7mm
最小空間分解能:2.8μm
雑音等価温度差:25mK
時間分解能:3μsec.
ステージ温度:室温~200℃
    IRエミッション顕微鏡
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