デバイスシミュレーター
| 設備ID | BA-001 |
|---|---|
| 分類 | 理論計算・シミュレーション > シミュレーション |
| 装置名称 | デバイスシミュレーター (Device Simulator) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | SILVACO (SILVACO) |
| 型番 | ATHENA/ATLAS |
| キーワード | デバイスシミュレーション |
| 仕様・特徴 | 2次元プロセスシミュレーター 2次元シリコン・デバイスシミュレーター 2次元先端材料・デバイスシミュレーター 3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター |
