形状解析レーザ顕微鏡
| 設備ID | YG-003 |
|---|---|
| 分類 | その他分析装置 > 膜厚測定 |
| 装置名称 | 形状解析レーザ顕微鏡 (3D laser scanning confocal microscope) |
| 設置機関 | 山形大学 |
| 設置場所 | 山形大学工学部GMAPセンター |
| メーカー名 | キーエンス (Keyence) |
| 型番 | VK-X100 |
| キーワード | 多層フィルム 多層フィルム膜厚 多層フィルム界面観察 |
| 仕様・特徴 | レーザー共焦点光学系に高速XYスキャナーを組み合わせることで高解像度の合焦画像と試料の高さ（形状や荒さ）に関するデータを取得 |
