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形状解析レーザ顕微鏡

設備ID YG-003
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
装置名称 形状解析レーザ顕微鏡 (3D laser scanning confocal microscope)
設置機関 山形大学
設置場所 山形大学工学部GMAPセンター
メーカー名 キーエンス (Keyence)
型番 VK-X100
キーワード 共焦点
表面
多層フィルム膜厚
多層フィルム界面観察
仕様・特徴 レーザー共焦点光学系に高速XYスキャナーを組み合わせることで高解像度の合焦画像と試料の高さ(形状や荒さ)に関するデータを取得
    形状解析レーザ顕微鏡
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