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リアクティブエッチング装置

設備ID CT-019
分類 膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 リアクティブエッチング装置 (Reactive ion etching system)
設置機関 公立千歳科学技術大学
設置場所 D101
メーカー名 サムコ (Samco)
型番 RIE-10NR
キーワード 各種シリコン薄膜の高精度エッチング
仕様・特徴 ・高い選択比と高精度のエッチングが可能
・全自動運転
・φ8インチウェハーの加工が可能
    リアクティブエッチング装置
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