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触針式表面形状測定器(Dektak)

設備ID CT-017
分類 膜厚・粒度測定 > 段差計
膜厚・粒度測定 > 膜厚測定
装置名称 触針式表面形状測定器(Dektak) (Stylus profilometer (Dektak))
設置機関 公立千歳科学技術大学
設置場所 E203
メーカー名 ブルカー (Bruker)
型番 Dektak XT
キーワード 膜厚段差、表面形状の測定
仕様・特徴 ・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下
    触針式表面形状測定器(Dektak)
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