触針式表面形状測定器（Dektak）

機器ID	CT-017
分類	その他分析装置 > 段差計その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称	触針式表面形状測定器（Dektak） (Stylus profilometer (Dektak))
設置機関	公立千歳科学技術大学
設置場所	E203
メーカー名	ブルカー (Bruker)
型番	Dektak XT
キーワード	膜厚段差、表面形状の測定
仕様・特徴	・200 mmφ対応・測定再現性 1σ=4 Å以下