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EB加熱・抵抗加熱蒸着装置

設備ID HK-703
分類 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system)
設置機関 北海道大学
設置場所 工学部C棟
メーカー名 アルバック (Ujlvac)
型番 EBX-8C
キーワード 金属成膜
仕様・特徴 電子線、抵抗加熱方式
蒸着源:EB4元・抵抗加熱1元
蒸着材料:Si、Al、Fe、 Mo、Au
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