EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
設備ID | HK-703 |
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分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
装置名称 | EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 工学部C棟 |
メーカー名 | アルバック (Ujlvac) |
型番 | EBX-8C |
キーワード | 金属成膜 |
仕様・特徴 | 電子線、抵抗加熱方式 蒸着源:EB4元・抵抗加熱1元 蒸着材料:Si、Al、Fe、 Mo、Au |