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光学干渉式膜厚計

    光学干渉式膜厚計
    光学干渉式膜厚計
機器ID HK-626
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 光学干渉式膜厚計 ( Film thickness measurement instruments)
設置機関 北海道大学
設置場所 創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名 フィルメトリクス (Filmetrics)
型番 F20-UV
キーワード 膜厚シミュレーション
仕様・特徴 膜厚測定範囲:1nm - 40µm
測定波長域:190-1100nm
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