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イオンミリング装置
設備ID
HK-623
分類
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称
イオンミリング装置 (Ion milling system)
設置機関
北海道大学
設置場所
創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名
アルバック (Ulvac)
型番
IBE-6000S
キーワード
磁性材料
仕様・特徴
使用ガス:Ar
試料サイズ:最大3インチ
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