1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]

    水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
    水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
機器ID NM-605
分類 リソグラフィ > レジスト処理装置
表面処理・洗浄 > プラズマ処理
装置名称 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 サムコ (Samco)
型番 AQ-500
キーワード 還元、洗浄、接合、アッシング、親水化
仕様・特徴 ・用途:洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O,O2
・最大試料サイズ:φ8 inch
・その他:自動運転プログラム
スマートフォン用ページで見る