集束イオンビーム加工・観察装置
| 設備ID | HK-304 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM)) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学研究院 全学共同利用施設 ナノ・マイクロマテリアル分析研究室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JIB-4600F/HKD |
| キーワード | 表面分析 薄片加工 エネルギー分散型X線分光 後方散乱電子回折(EBSD) 大気非曝露導入 |
| 仕様・特徴 | 加速電圧：1～30kV 分析機能：EDS、EBSD、3D観察 像分解能：5nm（30kV） |
