FIB加工装置(JEM-9320FIB)
設備ID | NM-511 |
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分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム(FIB) |
装置名称 | FIB加工装置(JEM-9320FIB) (Focused Ion Beam systems) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟115号室 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JEM-9320FIB |
キーワード | 電子顕微鏡薄片加工 Gaイオンビーム |
仕様・特徴 | ・FIB:加速電圧5~30 kV、最大電流30nA ・分解能:6nm (@30kV) |