マイクロシステムアナライザ
| 設備ID | KT-316 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | ポリテックジャパン(株) (Polytec) |
| 型番 | MSA-500-TPM2-20-D |
| キーワード | 振動時の表面形状測定 |
| 仕様・特徴 | MEMSデバイスの動的特性(面外,面内) および表面形状を3次元で測定 ・MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定 |
