走査型電子顕微鏡
設備ID | NM-508 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 走査型電子顕微鏡 (Field emission scanning electron microscope) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟212号室 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-7000F |
キーワード | 形態観察 組成分析 |
仕様・特徴 | ・ショットキーFEG ・加速電圧: 30 kV ・分解能:1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV) |