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実動環境対応物理分析電子顕微鏡

設備ID NM-501
分類 透過電子顕微鏡 > 透過型電子顕微鏡
回折・散乱 > 電子回折
装置名称 実動環境対応物理分析電子顕微鏡 (Real working environment physical characterization TEM)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟118号室
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JEM-ARM200F-G
キーワード 形態観察
原子構造解析
組成分析
電子線トモグラフィー
収差補正
仕様・特徴 ・照射系レンズ収差補正、結像系レンズ収差補正
・ショットキーFEG
・加速電圧: 80, 120, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線ホ口グラフイー, 電子線トモグラフィー
    実動環境対応物理分析電子顕微鏡
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