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走査型電子顕微鏡

    走査型電子顕微鏡
    走査型電子顕微鏡
機器ID NU-227
分類 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
設置機関 名古屋大学
設置場所 ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 S5200
キーワード 表面形状分析
インレンズ
組成分析
仕様・特徴 ・加速電圧:0.5kV~30kV
・分解能:0.5nm(30kV)
・倍率:~2,000,000
・最大試料サイズ:5mm x 9.5mm
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