微細組織3次元マルチスケール解析装置
| 設備ID | NM-302 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 装置名称 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 (Orthogonal FIB-SEM) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS 千現地区 先進構造材料研究棟109室 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SMF-1000 |
| キーワード | 3D像再構築 STEM観察 TEM試料作製 EDS測定 |
| 仕様・特徴 | 最高1nmピッチで制御可能で，加工と観察を繰り返すこと(シリアルセクショニング)で3D像再構築が可能．更にEBSDを併用した3D-EBSDやTEM試料作製も対応可能． ・SEM：ZEISS Gemini ・EDS：EDAX ・EBSD：EDAX TSL Hikari ・Ar-ion gun ・Depo. gas：Carbon |
