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超微量元素計測システム(SIMS)

設備ID UT-306
分類 表面分析(深さ方向元素分析を含む) > 二次イオン質量分析 (SIMS)(TOF,磁場など)
装置名称 超微量元素計測システム(SIMS) (SIMS)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学弥生キャンパス農学部3号館
メーカー名 カメカ (Cameca)
型番 NanoSIMS 50L
キーワード 微量元素分布分析
同位体分布分析
仕様・特徴 □主な用途
微小領域の分析、高空間分解能でのイメージング分析に優れた二次イオン質量分析装置。
□主な用途
・ 一次イオン源:セシウムおよび酸素
・最小ビーム径:50nm (セシウム)
・質量分析計:高性能二重収束型質量分析計
・高感度、高質量分解能での元素・同位体測定が可能。
・最大7種類の二次イオン像の同時検出ができる
    超微量元素計測システム(SIMS)
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