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走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS)

    走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS)
    走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS)
機器ID NM-202
分類 分光・表面分析 > X線光電子分光
装置名称 走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS) (Dual Scanning X-ray Photoelectron Microprobe Equipped with Hard X-Ray (HAX-PES/XPS))
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS並木地区 MANA棟403号室
メーカー名 アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI)
型番 Quantes
キーワード 対象試料:無機・有機物
分析用途:
・電子状態解析
・定性・定量分析
仕様・特徴 ・軟 X 線 (Al Kα) と硬 X 線 (Cr Kα) の2つの X 線源を有し、前者で試料最表面、後者で試料内部・界面の電子状態の観測が可能。
・電圧印可下での電子状態変化の観測が可能。
・温度制御範囲:90~870 K。
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