硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS）
| 設備ID | NM-202 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 装置名称 | 硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS） (HAX-PES/XPS) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟403号室 |
| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI) |
| 型番 | Quantes |
| キーワード | 対象試料：無機・有機物 分析用途： ・電子状態解析 ・定性・定量分析 |
| 仕様・特徴 | ・軟 X 線 (Al Kα) と硬 X 線 (Cr Kα) の２つの X 線源を有し、前者で試料最表面、後者で試料内部・界面の電子状態の観測が可能。 ・電圧印可下での電子状態変化の観測が可能。 ・温度制御範囲：90～870 K。 |
