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高分解能分析電子顕微鏡

設備ID UT-007
分類 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡
透過電子顕微鏡 >
装置名称 高分解能分析電子顕微鏡 (Transmission electron microscope)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学浅野キャンパス工学部9号館
メーカー名 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番 JEM-2010F
キーワード 透過捜査型電子顕微鏡、高分解能電子顕微鏡、分析電子顕微鏡、元素分析、TEM、STEM
仕様・特徴 □ 主な仕様
(1)本体
加速電圧:80,100,120,160,200kV
電子線源:熱電界放射型
分解能:0.192nm(粒子像)
試料最大傾斜角:±20°
試料移動:モーター駆動
排気方式:スパッターイオン、油拡散ポンプ
(2)画像記録 Gtan社 UltraScan
(3)分析装置
2)エネルギー分散型分光器(EDS)
    高分解能分析電子顕微鏡
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