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ジェントルミリング装置

設備ID	TU-519
分類	微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製）
装置名称	ジェントルミリング装置 (Gnetle Mill)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学片平キャンパス金属材料研究所
メーカー名	日本フィジテック (Japan Physitec Co.)
型番	Gentle Mill 3
キーワード	ジェントルミル低エネルギープラズマミリング
仕様・特徴	・ビームカレント 5 ～ 80 μA ・イオン照射角度 0～6°

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