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薄膜断面試料作製装置

設備ID	TU-518
分類	微小加工装置 > イオンミリング（断面加工）
装置名称	薄膜断面試料作製装置 (Ion Slicer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学片平キャンパス金属材料研究所
メーカー名	日本電子 (JEOL)
型番	EM-09100IS
キーワード	イオンスライサー
仕様・特徴	・イオン加速電圧 1～8 kV ・イオン照射角度 0～6°

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