4探針測定装置

機器ID	TU-320
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	4探針測定装置 (4-terminal prober)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	- (-)
型番	-
キーワード	ウェハ抵抗率などの測定
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ
機関代表メールアドレス	office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)