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4探針測定装置
4探針測定装置
機器ID
TU-320
分類
デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称
4探針測定装置 (4-terminal prober)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
- (-)
型番
-
キーワード
ウェハ抵抗率などの測定
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
機関代表メールアドレス
office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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