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赤外線顕微鏡

    赤外線顕微鏡
    赤外線顕微鏡
機器ID TU-309
分類 光学顕微鏡 > その他
組立・パッケージング > 接合・接着
装置名称 赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
型番 -
キーワード 両面アライメントの確認、Vapor HFによる犠牲層エッチング時のモニタ等
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
機関代表メールアドレス office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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