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赤外線顕微鏡

設備ID	TU-309
分類	光学顕微鏡 > その他組立・パッケージング > 接合・接着
装置名称	赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
型番	-
キーワード	両面アライメントの確認、Vapor HFによる犠牲層エッチング時のモニタ等
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ