ウェハゴミ検査装置
機器ID | TU-301 |
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分類 |
光学顕微鏡 > その他 その他分析装置 > その他 |
装置名称 | ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | トプコン (Topcon) |
型番 | WM-3 |
キーワード | ウェハ上のパーティクル測定(数、大きさ、分布) |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:小片~6インチ カセットtoカセット |
機関代表メールアドレス | office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください) |