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ウェハゴミ検査装置
ウェハゴミ検査装置
設備ID
TU-301
分類
光学顕微鏡 > その他
その他分析装置 > その他
装置名称
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
キーワード
ウェハ上のパーティクル測定(数、大きさ、分布)
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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