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ウェハゴミ検査装置

    ウェハゴミ検査装置
    ウェハゴミ検査装置
機器ID TU-301
分類 光学顕微鏡 > その他
その他分析装置 > その他
装置名称 ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 トプコン (Topcon)
型番 WM-3
キーワード ウェハ上のパーティクル測定(数、大きさ、分布)
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット
機関代表メールアドレス office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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