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EVG プラズマ活性化装置

設備ID TU-254
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
組立・パッケージング > 接合・接着
装置名称 EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 EVG (EVG)
型番 810
キーワード 直接接合前のプラズマ活性化処理
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
ガス:N2、O2、Ar
    EVG プラズマ活性化装置
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