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ブランソン アッシング装置

設備ID TU-213
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
リソグラフィ > レジスト処理装置
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 ブランソン (Branson)
型番 IPC4000
キーワード バッチ式のレジスト除去
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式:バレル式
ガス:O2
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