精密研磨装置PM-6
設備ID | UT-916 |
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分類 | 組立・パッケージング > 研磨(化学、機械) |
装置名称 | 精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム3 |
メーカー名 | ロジテック (Logitec) |
型番 | PM-6 |
キーワード | 研磨 ラッピング |
仕様・特徴 | 化学研磨装置 対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る(ラッピング)ことも、低速に平坦性を確保する(ポリッシング)ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。 回転機構:1軸タイプ 最大サンプル径:4インチ |