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電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)

設備ID MS-236
分類 表面分析(深さ方向元素分析を含む) > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA)
装置名称 電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) (Electron Probe Micro Analyzer)
設置機関 自然科学研究機構  分子科学研究所
設置場所 分子研 山手地区
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JXA-8230 SS-94000SXES 軟X線分光器搭載
キーワード X線分析装置(WDS、SXES)による元素分析、組成マップ。分光範囲は、WDS:0.087~9.3 nm、SXES:50~210 eV。EDSオプションあり。加速電圧0.2~30 kVで、SEM像・BSE像の観察が可能。
仕様・特徴 50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器(SXES)を搭載。
    電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
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