走査型プローブ顕微鏡
| 設備ID | UT-861 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 装置名称 | 走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | L-traceⅡ |
| キーワード | 表面形状解析 粗さ測定 |
| 仕様・特徴 | □主な特長 ・Z直進エラーの低減化 ・S/N比向上と光ノイズ低減 ・熱源抑制効果による低ドリフト化 □主な仕様 ・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm ・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで ・スキャン最大エリア90μmX90μm □主な用途 ・ 微細加工形状の評価 ・ 薄膜の表面形状（粗さ）観察 |
