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真空アニール炉

設備ID	TU-109
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
装置名称	真空アニール炉 (Vacuum annealing)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名	アドバンス理工 (Advance Riko)
型番	RHL-Pss98/98#
キーワード	真空中での熱処理
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～4インチ赤外線ランプ加熱基板温度：最高1000℃