両面アライナ(8")
設備ID | TU-069 |
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分類 | リソグラフィ > 光露光(マスクアライナ) |
装置名称 | 両面アライナ(8") (Double-side aligner) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | SUSS (SUSS) |
型番 | MA8/BA8 Gen3 |
キーワード | コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:小片~6インチ 露光波長:ブロードバンド、i線 最小露光線幅:~0.7um アライメント精度(片面):~1um アライメント精度(両面):~3um |