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拡散炉
拡散炉
設備ID
TU-103
分類
熱処理・ドーピング > 拡散
装置名称
拡散炉 (Diffusion)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
東京エレクトロン (TEL)
型番
XL-7
キーワード
リン、ボロンのそれぞれについて、プリデポ、ドライブイン
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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