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エリオニクス 50kV EB描画装置

設備ID TU-065
分類 リソグラフィ > 電子線描画(EB)
装置名称 エリオニクス 50kV EB描画装置 (Elionix 50kV EB lithography)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名 エリオニクス (Elionix)
型番 ELS-7500X
キーワード 最大加速電圧:50kV
仕様・特徴 最大加速電圧:50kV
    エリオニクス 50kV EB描画装置
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