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エリオニクス 50kV EB描画装置

設備ID	TU-065
分類	リソグラフィ > 電子線描画（EB）
装置名称	エリオニクス 50kV EB描画装置 (Elionix 50kV EB lithography)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名	エリオニクス (Elionix)
型番	ELS-7500X
キーワード	最大加速電圧：50kV
仕様・特徴	最大加速電圧：50kV