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エリオニクス 50kV EB描画装置
設備ID
TU-065
分類
リソグラフィ > 電子線描画(EB)
装置名称
エリオニクス 50kV EB描画装置 (Elionix 50kV EB lithography)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名
エリオニクス (Elionix)
型番
ELS-7500X
キーワード
最大加速電圧:50kV
仕様・特徴
最大加速電圧:50kV
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