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超高分解能電界放出型電子顕微鏡

    超高分解能電界放出型電子顕微鏡
    超高分解能電界放出型電子顕微鏡
機器ID NR-205
分類 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
設置機関 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設置場所 奈良先端科学技術大学院大学物質棟
メーカー名 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番 SU9000
キーワード 表面ナノ構造観察
薄膜断面観察
仕様・特徴 ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 0.4 nm(2次電子像、加速電圧30 kV)
・EDX検出器搭載
・STEM検出器搭載
機関代表メールアドレス naist-arim=ms.naist.jp ([=]を[@]にしてください)
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