超高分解能電界放出型電子顕微鏡
| 設備ID | NR-205 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM)) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU9000 |
| キーワード | 表面ナノ構造観察 薄膜断面観察 |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV ・分解能: 0.4 nm（2次電子像、加速電圧30 kV） ・EDX検出器搭載 ・STEM検出器搭載 |
