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多機能分析走査電子顕微鏡

    多機能分析走査電子顕微鏡
    多機能分析走査電子顕微鏡
機器ID NR-201
分類 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional Analysis Scanning Electron Microscope)
設置機関 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設置場所 奈良先端科学技術大学院大学物質棟
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JSM-IT800
キーワード 表面ナノ構造
仕様・特徴 ・加速電圧: 100 V 〜 30 kV
・分解能: 0.5 nm(2次電子像、加速電圧15 kV)
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・CL検出器搭載
・低真空機能搭載
機関代表メールアドレス naist-arim=ms.naist.jp ([=]を[@]にしてください)
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