共用設備検索結果
両面マスクアライナ (Double-side alignment Mask aligner)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- ズースマイクロテック (SUSS)
- 型番
- MA-6
- 仕様・特徴
- 両面、露光精度0.6ミクロン
試料サイズ：最大6インチ
基板サイズ：不定形小片～150mm角
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ujlvac)
- 型番
- EBX-8C
- 仕様・特徴
- 電子線、抵抗加熱方式
蒸着源：EB４元・抵抗加熱1元
蒸着材料：Si、Al、Fe、 Mo、Au
スパッタ装置 (Sputtering system)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 菅製作所 (SUGA)
- 型番
- SSP3000Plus
- 仕様・特徴
- 成膜材料：1元、Au、Cr、FeNi、SiO2等
成膜温度：～300℃
最大試料料サイズ：φ 150mm
ダイシングソー (Dicing Saw)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (DISCO)
- 型番
- DAD322
- 仕様・特徴
- セミオートマチック
切削可能範囲(x,y)：150mm
最大ストローク(z)：32mm
エリプソメータ (Ellipsometry)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- M-500S
- 仕様・特徴
- Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
スピンコーター (Spin coater)
- 設備ID
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (MIKASA)
- 型番
- MS-B1000
- 仕様・特徴
- 試料サイズ：最大4インチ
回転数：0-4000rpm