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両面マスクアライナ (Double-side alignment Mask aligner)

設備ID
HK-702
設置機関
北海道大学
設備画像
両面マスクアライナ
メーカー名
ズースマイクロテック (SUSS)
型番
MA-6
仕様・特徴
両面、露光精度0.6ミクロン
試料サイズ:最大6インチ
基板サイズ:不定形小片~150mm角

EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system)

設備ID
HK-703
設置機関
北海道大学
設備画像
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
メーカー名
アルバック (Ujlvac)
型番
EBX-8C
仕様・特徴
電子線、抵抗加熱方式
蒸着源:EB4元・抵抗加熱1元
蒸着材料:Si、Al、Fe、 Mo、Au

スパッタ装置 (Sputtering system)

設備ID
HK-704
設置機関
北海道大学
設備画像
スパッタ装置
メーカー名
菅製作所 (SUGA)
型番
SSP3000Plus
仕様・特徴
成膜材料:1元、Au、Cr、FeNi、SiO2
成膜温度:~300℃
最大試料料サイズ:φ 150mm

ダイシングソー (Dicing Saw)

設備ID
HK-705
設置機関
北海道大学
設備画像
ダイシングソー
メーカー名
ディスコ (DISCO)
型番
DAD322
仕様・特徴
セミオートマチック
切削可能範囲(x,y):150mm
最大ストローク(z):32mm

エリプソメータ (Ellipsometry)

設備ID
HK-706
設置機関
北海道大学
設備画像
エリプソメータ
メーカー名
日本分光 (JASCO)
型番
M-500S
仕様・特徴
Xe光源, 測定波長:350~800nm, 試料水平置き

スピンコーター (Spin coater)

設備ID
HK-707
設置機関
北海道大学
設備画像
スピンコーター
メーカー名
ミカサ (MIKASA)
型番
MS-B1000
仕様・特徴
試料サイズ:最大4インチ
回転数:0-4000rpm
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