共用設備検索結果
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
- 設備ID
- NU-208
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
- 型番
- MA-6
- 仕様・特徴
- ・対応基板サイズ：10mm～最大6インチ径ウェハ
・主波長：350 nm〜450 nm
・裏面アラインメント機能（CCD画像記憶方式）
・アライメント精度:±0.5 µm(表面アラインメント)，±0.1 µm(裏面アラインメント)
ICPエッチング装置 (ICP etching)
- 設備ID
- NU-209
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- RIE-800
- 仕様・特徴
- ・ロードロック式装置
・ウェーハサイズ：6 inch
・ボッシュプロセス，ウエハー貫通エッチングが可能
・加工速度：50 µm/min
・加工ガス：SF6，O2
ダイシングソー装置 (Dicing saw)
- 設備ID
- NU-210
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAD522
- 仕様・特徴
- ・最大ワークサイズ：Φ152.4 mm
・切削可能範囲（XY）： 220 mm×160 mm
・有効ストローク（Z）：27.2 mm
・回転角：380°
・アラインメント用対物レンズ：100倍
フェムト秒レーザー加工分析システム (fs laser microfabrication and analysis system)
- 設備ID
- NU-211
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 輝創 (Kisoh)
- 型番
- UFL-Hybrid
- 仕様・特徴
- ・光源：1041 nm, 550 fs, 10 µJ
・高調波発生ユニット：40% @520 nm
(加工ステーション)
・最大試料寸法：100 mm x 100 mm
・加工スポット：5 µmφ
(分析ステーション)
・時間分解磁気分析
8元マグネトロンスパッタ装置 (8 sources magnetron sputtering)
- 設備ID
- NU-213
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 仕様・特徴
- ・2インチカソード8本
・試料サイズ30 mm角
・RF電源 500 W 2台
・1 kV Arイオンエッチング機構
・試料交換室に8サンプルバンク可
8元MBE装置 (8 sources molecular beam epitaxy)
- 設備ID
- NU-214
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 仕様・特徴
- ・蒸着源：4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個
・試料サイズ30 mm角
・高圧電源3台
・基板加熱：1000℃
・1kV Arイオンエッチング機構
・20 kV RHEED表面観察機能
ECR-SIMSエッチング装置 (ECR-SIMS etching)
- 設備ID
- NU-215
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 仕様・特徴
- （ECRイオンガン：入江工研社製 RGB-114）
・マイクロ波入力150 W
・加速電圧600 V
・イオン照射径30mm
（SIMS検出器：PFEIFFER社製 EDP400）
・分析質量1-512 amu
・試料角度調整，回転機構付き
スプレーコーター (Spray coater)
- 設備ID
- NU-216
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- サンメイ (Sunmay)
- 型番
- DC110
- 仕様・特徴
- ・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10～200 mm/秒
・粒子径:約5～15 µm
電気炉 (Electric furnance)
- 設備ID
- NU-218
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
- 型番
- MODEL272-2
- 仕様・特徴
- ・温度範囲：400-1100℃
・ドライ酸化用
酸化・拡散炉 (Oxidization and diffusion furnance)
- 設備ID
- NU-219
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
- 型番
- MODEL270-M100
- 仕様・特徴
- ・温度範囲：600-1150℃
・ウェット酸化用