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高分解能透過電子顕微鏡システム (High resolution analytical scanning transmission electron microscope)

設備ID
NU-103
設置機関
名古屋大学
設備画像
高分解能透過電子顕微鏡システム
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F/HK
仕様・特徴
加速電圧:80, 200kV
TEM, STEM, EDS
TEM点分解能:0.14nm
STEM-HAADF分解能:1nm

直交型高速加工観察分析装置 (High performance focused ion beam system (FIB-SEM))

設備ID
NU-104
設置機関
名古屋大学
設備画像
直交型高速加工観察分析装置
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
MI4000L
仕様・特徴
FIB-SEM 直交配置
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧:30kV

バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム (High performance focused ion beam system (FIB-SEM))

設備ID
NU-105
設置機関
名古屋大学
設備画像
バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
ETHOS NX5000
仕様・特徴
FIB-SEM
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧:30kV

試料作製装置群 (Specimen preparation apparatus group)

設備ID
NU-106
設置機関
名古屋大学
設備画像
試料作製装置群
メーカー名
ニューメタルズエンドケミカルス E.A. Fischione Instruments TECNOORG LINDA製 ライカマイクロシステムズ 日本電子 メイワフォーシス 日本電子 メイワフォーシス他 ()
型番
Model1040 Gatan Model IV5 Leica EM UC7 IB-09020CP DWS3242 JCM-6000Plus Neoc-Pro/P
仕様・特徴
TEM/STEM/SEM観察のための試料作製に関する装置群:
NanoMill PIPSⅡ GentlMill クライオミクロトーム クロスセクションポリッシャー ダイヤモンドワイヤーソー 卓上SEM コータ類

イオン注入装置 (Ion implantation)

設備ID
NU-201
設置機関
名古屋大学
設備画像
イオン注入装置
メーカー名
日新電機 (Nissin Electric)
型番
NH-20SR-WMH
仕様・特徴
・加速電圧:5-200kV
・注入電流1 µA~100 µA

急速加熱処理装置 (Rapid thermal annealing)

設備ID
NU-202
設置機関
名古屋大学
設備画像
急速加熱処理装置
メーカー名
AG Associates (AG Associates)
型番
Heatpulse 610
仕様・特徴
・温度範囲:400~1200℃
・昇温速度:200℃/sec

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-204
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像

3元マグネトロンスパッタ装置 (3 sources magnetron sputtering)

設備ID
NU-205
設置機関
名古屋大学
設備画像
3元マグネトロンスパッタ装置
メーカー名
島津製作所 (SHIMADZU)
型番
HSR-522
仕様・特徴
・4インチカソード3本
・RF電源500 W 2台
・逆スパッタ機構
・基盤回転
・シャッター開閉機構による多層膜成長可能

電子線露光装置 (Electron beam lithography)

設備ID
NU-206
設置機関
名古屋大学
設備画像
電子線露光装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JBX6300FS
仕様・特徴
・加速電圧:25/50/100kV
・最小ビーム径:2nm
・ビーム電流:100pA-2nA
・重ね合わせ精度:±9nm
・最大試料サイズ:4inchφ

X線光電子分光装置 (X-ray photoemission spectrometer)

設備ID
NU-207
設置機関
名古屋大学
設備画像
X線光電子分光装置
メーカー名
VG (VG)
型番
ESCALab250
仕様・特徴
・Mg/Alツインアノード
・AlモノクロX線源
・Arスパッタ銃
・角度分解測定用マニュピレータ
・最大試料サイズ:20mmφ
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