共用設備検索結果
電子線描画用データ処理ソフトウェア (Data analysis software for electron beam lithography)
- 設備ID
- NU-268
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- GenISys (GenISys)
- 型番
- BEAMER
- 仕様・特徴
- ・レイアウトエディタ
・パターンデータ変換
・近接効果補正（PEC）
・グレースケール露光補正
RIEエッチング装置 (RIE etching)
- 設備ID
- NU-267
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- RIE-10NR
- 仕様・特徴
- ・シリコン系エッチング
・対応基板サイズ：最大8インチ
・プロセスガス：CF4，Ar，O2
全自動X線回折装置 (Automated X-ray diffractometer)
- 設備ID
- NU-266
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- リガク (Rigaku)
- 型番
- SmartLab 9kW
- 仕様・特徴
- ・線源：Cu Kα線 9kW
・光学系：集中法，平行ビーム法，インプレーン
・多層膜ミラー，Geモノクロメーター付き
・検出器：HyPix-3000二次元検出器
・測定モード：θ－2θスキャン，ロッキングカーブ，逆格子面マッピング，膜面内φスキャン，φ－2θχスキャンなど
物理特性測定装置 (Physical property measurement system)
- 設備ID
- NU-265
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本カンタム・デザイン (Quantum Design Japan)
- 型番
- DynaCool-12T
- 仕様・特徴
- ・温度範囲：1.85K〜400K
・最大印加磁場：12T
・測定オプション：直流抵抗，Van der Pauw-ホール輸送特性，試料振動型磁力計（VSM），試料回転機構
原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)
- 設備ID
- NU-264
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- パーク・システムズ (Park Systems)
- 型番
- NX20
- 仕様・特徴
- ・スキャン領域：XY方向100µm，Z方向15µm
・試料サイズ：最大200mmφ－20mmt
・測定モード AFM，MFM，EFM，LFM，FMM，C-AFM，ナノリソグラフィ
高分解能走査型電子顕微鏡 (High resolutiion scanning electron microscopy)
- 設備ID
- NU-263
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01kV～30kV
・ステージバイアス電圧：0〜-5kV
・分解能：0.5nm(15kV)，0.7nm(1kV)
・倍率：～2,000,000
・最大試料サイズ：170mmφ x 45mm
・EDS分析元素範囲：Be〜Cf
プラズマ誘起CVD装置 (Plasma Enhanced CVD)
- 設備ID
- NU-262
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- PD-220N
- 仕様・特徴
- ・基板加熱：抵抗加熱式 (常用300℃)
・適正ウェハ寸法：最大8インチ径
・供給ガス：TEOS
段差計 (Surface profiler)
- 設備ID
- NU-261
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ52mm
・再現性 ：1σ 0.3nm以内
・測定範囲 ：Z：600µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1nm，X：0.1µm
・測定力：10µN～500µN
マスクレス露光装置 (Maskless lithography)
- 設備ID
- NU-260
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- ネオアーク (NEOARK)
- 型番
- PALET DDB-701-DL4
- 仕様・特徴
- ・露光領域：100mm x 100mm
・最大ワークサイズ：Φ150mm x 10mm
・光源：365nm LED
・最小画素：3µm（対物レンズx10），15µm（対物レンズx2）
全自動元素分析装置 (CHNS/O Elemental Analyzer)
- 設備ID
- NU-001
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Perkin Elmer社 (PerkinElmer)
- 型番
- 2400Ⅱ CHNS/O
- 仕様・特徴
- ・サンプル量分析範囲 ： ～500 mg（固体、液体）＊目的元素含有量に依存
・C(0.001～3.6 mg）、H（0.001～1.0 mg）N(0.001～6.0 mg）、S（0.001～2.0 mg）
・測定方式： 静的燃焼、フロンタルクロマトグラフィー、TCD検出