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カーボンコーター (Carbon coater )

設備ID
UT-713
設置機関
東京大学
設備画像
カーボンコーター
メーカー名
明和フォーシス (Meiwafosis )
型番
CADE-4T
仕様・特徴
帯電しやすい試料をカーボンでコーティングして鮮明な走査電子顕微鏡増が得られます。
設備状況
稼働中

電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis)

設備ID
UT-714
設置機関
東京大学
設備画像
電子線顕微鏡観察用コーター
メーカー名
Gatan (Gatan)
型番
PECS
仕様・特徴
スパッタによりカーボン膜など観察用の薄膜を堆積できます
設備状況
稼働中

2インチ3元電子線蒸着装置 (2-inch 3-target Electron Beam (EB) Evaporator)

設備ID
UT-715
設置機関
東京大学
設備画像
2インチ3元電子線蒸着装置
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
BB7873
仕様・特徴
ウエーハサイズ2インチもしくはそれ以下のチップサンプルに対応可能。一般的なEB蒸着装置です。ロードロックを備えており、試料交換時間が短い。到達真空度は10E-5 Pa台。膜厚計、試料加熱ランプあり。
設備状況
稼働中

LL式高密度汎用スパッタリング装置(2024) (LL-type High-density General Purpose Sputtering System)

設備ID
UT-716
設置機関
東京大学
設備画像
LL式高密度汎用スパッタリング装置(2024)
メーカー名
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
型番
CFS-4EP-LL !-Miller (2024)
仕様・特徴
真空引きが速く、通常10分程度でスパッタリング開始が可能。また、膜質の安定も期待できる。ターゲットはCFS-4ESと共通。 デフォルトはPt/Au/Cr/Tiを装着。それ以外のターゲットは支援員の技術補助で交換を行う。UT-711と互換。
サイドスパッタ方式、スパッタターゲット:3inchx3、ホルダーサイズ:Φ220mm、到達圧力:5x10E-4 Pa以下、RF50W(DC)、加熱温度:最大300℃
設備状況
稼働中

クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)

設備ID
UT-800
設置機関
東京大学
設備画像
クリーンドラフト潤沢超純水付
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。
設備状況
稼働中

イナートガスオーブン (Inert Gas Oven)

設備ID
UT-801
設置機関
東京大学
設備画像
イナートガスオーブン
メーカー名
光洋サーモシステム (Koyo Thermo Systems)
型番
INH-9CD
仕様・特徴
窒素ガスを導入して、窒素雰囲気でプログラムした通りにベークできる電気炉。600℃まで昇温可能。残留ガス濃度20ppm (カタログスペック)
設備状況
稼働中

高速ランプアニール装置 (Lamp Annealer)

設備ID
UT-802
設置機関
東京大学
設備画像
高速ランプアニール装置
メーカー名
米倉製作所 (YONEKURA MFG)
型番
MS-HP2-9
仕様・特徴
φ3inchまで(条件によってφ4inchまで可能)。大気および窒素雰囲気。昇温速度200℃/minまで、到達温度1000℃まで可能。
設備状況
稼働中

サンドブラスト (Sandblasting Machine)

設備ID
UT-803
設置機関
東京大学
設備画像
サンドブラスト
メーカー名
不二製作所 (Fuji Manufacturing)
型番
仕様・特徴
クリーンルーム対応装置。アルミナ粉末によってブラスト加工ができます
設備状況
稼働中

UVオゾンクリーナー  (UV ozone cleaner)

設備ID
UT-804
設置機関
東京大学
設備画像
UVオゾンクリーナー
メーカー名
サムコ (SAMCO)
型番
UV-1
仕様・特徴
レジスト等のアッシング処理が可能
設備状況
稼働中

プラズマ表面改質装置  (Plasama Surface Modificaton Equipment)

設備ID
UT-805
設置機関
東京大学
設備画像
プラズマ表面改質装置
メーカー名
サムコ (SAMCO)
型番
AQ-50
仕様・特徴
特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
設備状況
稼働中
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