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ウエーハレベルボンディング装置SB8 Gen2 (Substrate Bonder)

仕様・特徴: ウエーハ同士を接合する装置。位置合わせはマスクアライナーMA6（UT-504）で行う。MEMSプロセスや三次元配線形成に用いられる装置。
最大加熱温度：550℃、温度均一性：±1.5℃
温度再現性：±3℃、最大加熱速度：30K/分
最大冷却速度：25K/分、最大加圧力：20kN
圧力均一性：±2%

仕様・特徴: 1.電磁波の影響を受けず測定ができる環境を提供します。
2.メッシュ式シールドルーム
3.内寸：W2.7mｘD3.6mｘH2.1m
4.シールド性能：500KHz（または150kHz）～2GHzにおいて60dB以上減衰（電界/平面波）

メーカー名: 1.東洋メディック、2.独ローデシュワルツ、3.NF回路設計ブロック、4.NF回路設計ブロック、5.三菱電機エンジニアリング、6.テクトロニクス、7.ローデ・シュワルツ、8.エレクトロニクス&イノベーション、9.エレクトロニクス&イノベーション (1.Toyo Medic、2.Rohde & Schwarz、3.NF Corporation、4.NF Corporation、5.Mitsubish Electric Engineering、6.Tektronics、7..Rohde & Schwarz、8.Electronic & Innovation、9.Electronic & Innovation)

型番: 1.等方性電磁界測定装置EHP-200A（東洋メディック）、2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6（独ローデシュワルツ）、3.周波数応答分析装置FRA5097（NF回路設計ブロック）、4.高速バイポーラ電源　HSA4101（NF回路設計ブロック）、5.無線供給用電源KM-1　T1050（三菱電機エンジニアリング）、6.スペアナRSA5106B（テクトロニクス）、7.パワーメーターNRP-Z91（ローデ・シュワルツ）、8.リニアアンプA075 ７５W（エレクトロニクス&イノベーション）、9.リニアアンプ1041L　400W（エレクトロニクス&イノベーション）

仕様・特徴: 1.等方性電磁界測定器EHP-200A、9kHzから30MHzの周波数帯域における電界（0.02～1000V/m）または磁界（6mA/m～300A/m）を高精度に測定する等方性電磁界測定器です。
2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6、9KHzから6GHzの周波数帯域におけるSパラメータを高速・高精度に解析できる装置です。
3.周波数応答分析装置FRA5097、ディジタルフーリエ積分方式の優れたノイズ除去特性を生かし、0.1 mHzから15MHzの周波数帯域において、被測定対象の周波数応答（振幅・位相）を高精度に測定する装置です。
4.高速バイポーラ電源HSA4101、直流から最高10MHzまでの信号を扱うことができる高速・広帯域・高電圧出力のバイポーラ方式電力増幅器です。
5.無線供給用電源KM-1 T1050、無線電力伝送装置の開発に使用できる6.78MHz，50W 出力電源
6.スペアナRSA5106B、最高40GHzの周波数帯域に対応し、VLFバンドからKuバンドまでの9kHz～18.0GHzの信号をすばやく捕捉できます。
7.パワーメーターNRP-Z91、アベレージ・パワー・センサ：9kHz～6GHzの周波数範囲
8.リニアアンプA075、クラスA 75W出力、周波数300KHz～35MHz
9.リニアアンプ1040L、400W出力、周波数10KHz～5MHz

仕様・特徴: ・フェライト系電波吸収体を使用。
・超小型・広帯域アンテナ（30MHz～1GHz）を用意。
EMI試験に最適
・内寸：1230(W)x915(H)x915(D)
・ドア開口部寸法：約410(W)×710(H)mm
・同軸コネクタ：N(J)×1（正面左下・アンテナ用）、N(J)×1（右側面下）
・インターフェース：D-sub25ピン×1（メス）、LAN×1
AC×1（250Vmax/10A）、※電動ターンテーブル装着時はAC100V
・シールド性能：70dB typ@2.2GHz
・吸収性能：20dB以上＠35MHz～2.2GHz
注意：キャリブレーションキット（ZV-Z132、R&S）が武田309号室川原研究室にあります。使用したい場合はお声掛けください。