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低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 (Low-voltage atomic-resolution Scanning Transmision Electron Microscopy)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL)
型番
JEM-ARM200CF
設備画像
低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
・冷陰極電界放出電子銃
・加速電圧: 30 - 200 kV
・分解能: 0.071 nm (200 kV), 0.11 nm (60 kV)
・分析機能: EDS, EELS
・収差補正装置(プローブ補正)
・遠隔操作利用可

軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡(Cs-STEM) (Light elements visible ultra-high-resolution scanning transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-ARM200F Cold FE
設備画像
軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡(Cs-STEM)
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な特長
照射系球面収差補正装置を標準搭載し、機械的・電気的安定度を極限まで高めることで、世界最高の走査透過像(STEM-HAADF)分解能 0.08nmを実現
□ 主な仕様
・ 加速電圧:200kV、120kV
・ 分解能:走査透過像※ 0.08nm (加速電圧200kV)※環状型暗視野検出器を使用
・ 倍率:走査透過像 200~150,000,000倍
・ 透過顕微鏡像 50~2,000,000倍
・ 収差補正装置:照射系球面収差補正装置 組み込み
・ 検出器:エネルギー分散形X線分析装置 (EDS)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、軽元素対応像検出器、CCD検出器(2k×2k)

超高分解能透過型電子顕微鏡(Cs-HRTEM) (Ultra-high-resolution transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-ARM200F Cold FE
設備画像
超高分解能透過型電子顕微鏡(Cs-HRTEM)
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な特長
・ 結像系球面収差補正装置を搭載することにより、透過顕微鏡像(TEM)の分解
能が0.11nmまで向上
・ 高圧、対物電流の変動を従来機の50%に抑制し、電気的安定度を大幅に向上
・ 鏡筒径を大きくし剛性を高めるとともに、架台の構造を最適化し、装置全体の機械的強度を従来機の約2倍に強化し、機械的安定度を向上
・ 熱および磁気シールドを標準装備。また、装置周囲の対流の変化による鏡筒表面の温度変化を防ぐために、鏡筒全体をカバーで被覆
□ 主な仕様
・ 加速電圧:200kV、120kV、100kV、80kV、60kV
・ 分解能:粒子像透過顕微鏡分解能 0.10nm(加速電圧200kV)
・ 倍率:走査透過像 200~150,000,000倍
・ 透過顕微鏡像 50~2,000,000倍
・ 収差補正装置:結像系球面収差補正装置
・ 検出器:CCDカメラ、CMOSカメラ×2

環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 (Environmental-adapted ultra-high-resolution scanning transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-ARM200F Cold FE
設備画像
環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
・ 加速電圧:200kV、80kV
・ 分解能:TEM格子像 0.10nm
TEM粒子像 0.23nm
STEM明視野格子像 0.136nm
STEM暗視野格子像 0.10nm
・ 倍率:TEM像 50~2,000,000倍
STEM像 200~150,000,000倍
・ 収差補正装置:照射系球面収差補正装置 組み込み
・ 検出器:エネルギー分散形X線分析装置 (SDD×2)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、軽元素対応像検出器、CCD検出器(2k×2k,4k×2k)
・試料2軸傾斜スライドカバーホルダー
・高温加熱通電ホルダー

原子分解能元素マッピング構造解析装置 ( Atomic resolution element mapping structure analyzer)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-ARM200F Thermal FE STEM
設備画像
原子分解能元素マッピング構造解析装置
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
・ 分解能:STEM明視野格子像 0.136nm
STEM暗視野格子像 0.082nm
TEM格子像 0.10nm
TEM粒子像 0.19nm
・ 倍率: STEM像 200~150,000,000倍
TEM像 50~2,000,000倍
・ 収差補正装置:照射系球面収差補正装置 組み込み
・ 検出器:エネルギー分散形X線分析装置 (SDD)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、
軽元素対応像検出器、CCD検出器(2k×2k,4k×2k)

ハイスループット電子顕微鏡 (High Throughput Electron Microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-2800
設備画像
ハイスループット電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な特長
電子顕微鏡観察を自動化。コントラスト&ブライトネス、試料高さ、結晶方位あわせ、フォーカス、非点補正を自動調整。TEM、STEM、SEM、電子線回折の観察モードを瞬時に切り替え可能。高性能光学系採用により高分解能観察と高速分析を両立している。
□ 主な仕様
・分解能:二次電子像≦0.5nm,走査透過像 0.2nm,透過像(格子像) 0.1nm
・倍率:二次電子像 ×100~×150,000,000 走査透過像×100~×150,000,000 TEM像×500~×20,000,000
・ 電子銃:ショットキー型電界放出電子銃 加速電圧 200kV・100kV
・ 試料系:試料傾斜 X軸±25゜Y軸±30゜
・ 分析:EDS、EELS検出器を装備

高分解能分析電子顕微鏡 (Transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-2010F
設備画像
高分解能分析電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
(1)本体
加速電圧:80,100,120,160,200kV
電子線源:熱電界放射型
分解能:0.192nm(粒子像)
試料最大傾斜角:±20°
試料移動:モーター駆動
排気方式:スパッターイオン、油拡散ポンプ
(2)画像記録 Gtan社 UltraScan
(3)分析装置
2)エネルギー分散型分光器(EDS)

高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 (Top-entry Transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-2000EX
設備画像
高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
(1)本体
加速電圧 : 80、100、120、160、200kV
電子線源 : 単結晶LaB6
分解能 : 0.1nm(格子像)
試料最大傾斜角 : ±10°
排気方式 : 油拡散ポンプ
(2)画像記録 シートフィルム

ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 (High Contrast Transmission Electron Microscope)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-2010HC
設備画像
ハイコントラスト透過型電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
(1)本体
加速電圧 : 80、100、120、160、200kV
電子線源 : 単結晶LaB6
試料最大傾斜角 : ±30°
試料移動 : モーター駆動(X、Y、Z)
排気方式 : ターボ分子ポンプ(TMP)
(2)画像記録 シートフィルムおよびデジタル画像
(3)分析機能:EDS

クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 (Cryo-TEM/STEM)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JEM-2100F
設備画像
クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
・ ショットキー型FE電子銃装備
・ 分解能<0.31nm
・ EDS、EELS検出器装備
・ TEM/STEM 3次元トモグラフィ機能装備
・ 極低温観察用クライオトランスファホルダ装備
・ CCD検出器(4k×4k,1k×1k)
・加速電圧:200kV、120kV
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