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ダイサー (Dicing Saw)
- メーカー名
- ディスコ (DISCO Corporation)
- 型番
- DAD322
- 設備画像
- 設置機関
- 広島大学
- 仕様・特徴
- Si, SiO2, SiCウェハ等のダイシング用。
PDMS加工装置 (PDMS processing equipment)
- メーカー名
- 魁･THINKEYほか ()
- 型番
- 設備画像
- 設置機関
- 広島大学
- 仕様・特徴
- ポリジメチルシロキサン(PDMS)加工用の塗布装置、真空撹拌脱泡装置、オーブン等の装置群
