共用設備検索結果
高温イオン注入装置 (Ion implanter)
- 設備ID
- RO-212
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC, Inc.)
- 型番
- IMX-3500 (手動高温仕様)
- 仕様・特徴
- 500℃、 ~200kV,
Al,B,As,P,Si,F,Ar,N,He 等注入可能
走査電子顕微鏡(SEM) (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- RO-527
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ショットキー電界放出型電子銃,10V~30kV、
最高分解能0.5nm,