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3Dプリンタ (3D Printer)

設備ID
RO-603
設置機関
広島大学
設備画像
3Dプリンタ
メーカー名
XYZ (XYZ)
型番
ダヴィンチCOLOR
仕様・特徴
FFF方式

高温イオン注入装置 (Ion implanter)

設備ID
RO-212
設置機関
広島大学
設備画像
高温イオン注入装置
メーカー名
アルバック (ULVAC, Inc.)
型番
IMX-3500 (手動高温仕様)
仕様・特徴
500℃、 ~200kV,
Al,B,As,P,Si,F,Ar,N,He 等注入可能

走査電子顕微鏡(SEM) (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
RO-527
設置機関
広島大学
設備画像
走査電子顕微鏡(SEM)
メーカー名
日本電子 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-IT800
仕様・特徴
ショットキー電界放出型電子銃,10V~30kV、
最高分解能0.5nm,
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