共用設備検索結果
走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S-4700
- 仕様・特徴
- 冷陰極電界放出型電子銃、最高分解能1.5nm、
EBSD解析装置 (EBSD analyzer)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-7100F
- 仕様・特徴
- EBSD測定により試料結晶面方位、結晶粒マッピング等の結晶構造解析を行う。
二次イオン質量分析装置 (SIMS)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバックファイ (ULVAC-PHI, Inc.)
- 型番
- SIMS6650
- 仕様・特徴
- Cs,Oガン装備四重極型質量分析機、
一次イオン最小加速エネルギー1keV
X線光電子分光装置(XPS) (X-ray photoelectron spectroscopy)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- クレイトスアナリティカル ()
- 型番
- ESCA-3400
- 仕様・特徴
- エミッション電流：20 mA、accel HT：10 kV、測定範囲：1150～-10 eV
X線源：Mg Kα, 電子結合エネルギー走査範囲：1150 ～ -10 eV
薄膜構造評価X線回析装置(XRD) (X-ray diffraction spectrometer)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- リガク ()
- 型番
- ATX-E
- 仕様・特徴
- 角度分解能 0.0002度(2θ)
分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
- 型番
- M2000-D
- 仕様・特徴
- 測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193～1000nm、
干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc)
- 型番
- AFT 5000
- 仕様・特徴
- 可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載。
原子間力顕微鏡 (AFM)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
- 型番
- SPI3800
- 仕様・特徴
- 分解能：z:0.01nm, Ｘ、Ｙ：0.1nm,
視野：最小5nm角、最大 20μm角、
表面段差計 (Profilometer)
- 設備ID
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- BRUKER (BRUKER)
- 型番
- Dektak XT-E
- 仕様・特徴
- 垂直範囲：10nm～1mm、垂直解像度：最高0.1nm