共用設備検索
共用設備検索結果
"広島大学"で検索した結果 53件
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- 設備ID
RO-317 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アユミ工業 (Ayumi INDUSTRY CO.,LTD.)
- 型番
- 仕様・特徴
- n型アモルファスシリコン膜の成膜
- 設備ID
RO-318 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アユミ工業 (Ayumi INDUSTRY CO.,LTD.)
- 型番
- 仕様・特徴
- SiO2、SiNx膜等の絶縁膜を成膜
- 設備ID
RO-321 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社エイコー (EIKO CORPORATION)
- 型番
- 仕様・特徴
- 超高真空仕様,Al以外にTi, TiNのスパッタが可能
- 設備ID
RO-322 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社エイコー (EIKO CORPORATION)
- 型番
- 仕様・特徴
- 各種材料スパッタ用
（3インチターゲット交換により広範な材料に対応）
スパッタガス（Ar・O2・N2）
- 設備ID
RO-323 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社エイコー (EIKO CORPORATION)
- 型番
- 仕様・特徴
- スパッタレート500 nm/8 min
- 設備ID
RO-324 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アネルバ (Anelva)
- 型番
- 仕様・特徴
- 3元スパッタ
- 設備ID
RO-331 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルパック (ULVAC, Inc.)
- 型番
- 仕様・特徴
- 抵抗加熱型の蒸着装置。２種類の材料をセットして多層膜を作成することも可能。Al、Au等。
- 設備ID
RO-411 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
- 型番
- 仕様・特徴
- CF4, H2使用可能
- 設備ID
RO-412 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
- 型番
- 仕様・特徴
- SF6
- 設備ID
RO-413 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.)
- 型番
- MUC-21
- 仕様・特徴
- Bosch Processを用いた深掘エッチング装置, C4F8, SF6, O2, Ar使用可能
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