共用設備検索結果
多元材料原子層堆積(ALD)装置 (ALD)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- テクノファイン (Technofine)
- 型番
- ALK-600
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- テクノファイン (Technofine)
- 型番
- PZ-604
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4インチ
スピンコート、ベーク、ランプアニールの繰り返しを自動処理可能
MOCVD (MOCVD)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ワコム研究所 (Wacom)
- 型番
- Doctor-T'
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：最大8インチ
3液気化システム
基板温度：最高650℃
DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-SRE
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4インチ(小片～4インチ)
基板固定方式：メカニカルチャック
プラズマ方式：ICP
ガス：SF6、C4F8、Ar、O2
メタルマスク（Al、Crなど）不可
DeepRIE装置#2 (DeepRIE #2)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-SRE
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：6インチ、または、4インチ(小片～6または4インチ)
基板固定方式：メカニカルチャック
プラズマ方式：ICP
ガス：SF6、C4F8、Ar、O2
メタルマスク（Al、Crなど）不可
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- STS (STS)
- 型番
- Multiplex-ICP SR
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：6インチ、または、4インチ(小片～6または4インチ)
基板固定方式：メカニカルチャック
プラズマ方式：ICP
ガス：SF6、C4F8、CHF3、Ar、O2
メタルマスク（Al、Crなど）可
DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-HR
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：8インチ、または、4インチ
基板固定方式：静電チャック(8)、メカニカルチャック(4)
プラズマ方式：ICP
ガス：SF6、C4F8、Ar、O2
メタルマスク（Al、Crなど）不可
アルバックICP-RIE#1 (Ulvac ICP-RIE#1)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- NE-550
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ、または、4インチ
基板固定方式：静電チャック
プラズマ方式：ICP
ガス：CF4、CHF3、SF6、C4F8、Ar、O2、N2、Cl2、BCl3
アルバックICP-RIE#2 (Ulvac ICP-RIE#2)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- CE-300I
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ、または、6インチ
基板固定方式：静電チャック
プラズマ方式：ICP
ガス：CF4、CHF3、SF6、C4F8、Ar、O2、N2、Cl2、BCl3
アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- RIH-1515Z
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～300mm角
ロードロックは6インチまで
基板固定方式：静置（温度制御不可）
プラズマ方式：CCP
ガス：Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、N2、O2