共用設備検索結果
アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000W
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4，6，8インチ
ホットプレート (Hot plate)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Shamal (Shamal)
- 型番
- HHP-230SQ
- 仕様・特徴
- 設定温度：40～400℃
温度分布精度：±1℃
両面アライナ (Double-side aligner)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- SUSS (SUSS)
- 型番
- MA6/BA6
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
露光波長：ブロードバンド、i線
最小露光線幅：～0.7μm
アライメント精度（片面）：～1μm
アライメント精度（両面）：～3μm
レーザ描画装置 (Laser writer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
- 型番
- DWL2000CE
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～9インチ
波長：405nm
最小描画線幅：0.7µm
マスクレスアライナ (Maskless aligner)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
- 型番
- MLA150
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
波長：405nm 、375nm
最小描画線幅：1µm
スプレー現像装置 (Spray developer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ADE-3000S
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：3～6インチ
現像ドラフト (Draft chamber for development)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
スピン乾燥機 (Spin dryer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東邦化成 (Toho Kasei)
- 型番
- ZAA-4
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～7インチ
コータデベロッパ (Coater developer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：2～8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット