共用設備検索結果
シンクロン スパッタ装置 (Shincron sputtering)
- 設備ID
- TU-172
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- シンクロン (Shincron)
- 型番
- RAS-1100BII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4インチ
ラジカルアシストにより、緻密な酸化、窒化が可能
基板RFバイアス付
ウォーターレーザ (Water laser)
- 設備ID
- TU-270
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 澁谷工業 (Shibuya)
- 型番
- LAMICS AQL-1900
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～12インチ
最小加工線幅：約70μm
測長SEM (CD-SEM)
- 設備ID
- TU-317
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- CS4800
- 仕様・特徴
- 6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性：1nm(3σ)